真空泵開(kāi)始工作之前，首先由粗真空泵運(yùn)行，抽真空達(dá)到一定的真空度后，這臺(tái)*真空泵啟動(dòng)進(jìn)行高精度抽真空。
旋轉(zhuǎn)部件全部裝配在泵體內(nèi)，工作轉(zhuǎn)速24000r/min。真空泵體直徑約400mm，高約500mm。真空泵工作時(shí)，用一塊圓形的有機(jī)玻璃板蓋在真空泵體上，靠密封膠條密封。需要加校正配重塊時(shí)，真空泵停止旋轉(zhuǎn)破壞真空，打開(kāi)有機(jī)玻璃蓋板，在泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子上加校正配重。
轉(zhuǎn)速信號(hào)和相位參考信號(hào)只能用光電傳感器通過(guò)有機(jī)玻璃蓋拾取貼在轉(zhuǎn)子端面上的發(fā)光帶的反光信號(hào)，生成與轉(zhuǎn)子同頻率的脈沖。由于真空泵體是鋁制品，所以具有磁力座的振動(dòng)傳感器只能吸附在真空泵支腿上，因?yàn)橹仁怯纱判圆牧辖卿撝瞥傻摹?/span>
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